반도체 공정개론

리차드 예거 (지은이), 이상렬 (옮긴이) 지음 | 교보문고(교재) 펴냄

반도체 공정개론

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2005.2.1

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352쪽

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출판사 책 소개

이 책에서는 미소전자소자 제조의 기초가 되는 개개의 단위 공정을 초반에 소개한 후 후반부에 이 단위 공정들로부터 이루어진 실제적인 MOS,MEMS 등의 소자와 집적 기술을 다루었다.또한 공정마다 이론적인 내용과 함께 공정에 사용되는 실제적인 응용을 깊이있게 다루었으며, 각 장의 끝에는 읽는 사람들이 해당 내용을 쉽게 이해 할 수 있도록 돕는 문제를 수록하였다.

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